産業機械事業 コ・ソルベントシステム(超音波洗浄)

用途 自動車部品電気・半導体・電子材料
洗浄方法 超音波洗浄溶剤系洗浄

・特徴:洗浄力の高い洗浄剤(準水系、炭化水素系)と浸透性・乾燥性の良いフッ素系洗浄剤の特徴を生かしたシステム。省スペース、省エネルギー仕様でありながら高い洗浄性能をもった製品

・用途:フラックス洗浄(パワーデバイス、フリップチップ)

※半導体・電子基板製造工程向けの洗浄装置

洗浄工程

①準水系洗浄剤(液中スプレー 又は 超音波洗浄)-②フッ素系リンス剤(液中スプレー又は 超音波洗浄)→べーパー洗浄→乾燥

追加オプション例

手動搬送式、自動搬送機設定可能
蒸留再生、気体回収機構
プロセスデータ管理

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