産業機械事業 フッ素系洗浄剤&超音波・液中スプレー

用途 電気・半導体・電子材料
洗浄方法 超音波洗浄スプレー・シャワー洗浄

・特徴:フッ素系洗浄剤により、浸透力が高く、狭ギャップの洗浄に最適。溶剤系の特徴を生かし、少ない工程数で洗浄可能。それにより廃棄物を大幅に削減。また、障害となる溶剤の蒸発量を極限まで削減する仕様にした製品

・用途:フラックス洗浄(パワーデバイス、フリップチップ)

※半導体・電子基板製造工程向けの洗浄装置

洗浄工程

①洗浄剤液中スプレー又は超音波洗浄:フラックス溶解用フッ素系溶剤-②洗浄剤液中スプレー:リンス用フッ素系溶剤→べーパー洗浄→乾燥

追加オプション例

手動搬送式、自動搬送機設定可能
蒸留再生、気体回収機構、フラックス分離装置
プロセスデータ管理

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