産業機械事業 準水系洗浄剤&5工程スプレー洗浄

用途 電気・半導体・電子材料
洗浄方法 スプレー・シャワー洗浄
・特徴:スプレー方式は連続式、枚葉式に対応。また洗浄力が大きいため、狭ギャップの洗浄に適した製品
・用途:フラックス洗浄・酸化膜除去(パワーデバイス)/フラックス洗浄(フリップチップ)
※半導体・電子基板製造工程向けの洗浄装置

洗浄工程

①洗浄剤洗浄(準水系洗浄剤、スプレー)-②液切(エアブロー)-③プレリンス・仕上リンス(純水、スプレー)-④仕上リンス(純水、揺動)-⑤熱風乾燥

追加オプション例

ネットコンベア式
水分濃度管理計、フラックス濃度管理計
プロセスデータ管理

使用洗浄剤例

準水系洗浄剤パインアルファシリーズ(荒川化学工業)/クリーンスルーシリーズ(花王)
水溶性洗浄剤VIGONシリーズ(ゼストロン)

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